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1. 靜電電位測(cè)試：使用靜電電位測(cè)試儀器，測(cè)試工作臺(tái)表面的靜電電位是否符合標(biāo)準(zhǔn)要求。通常要求靜電電位在±1000V以內(nèi)。 2. 接地測(cè)試：測(cè)試工作臺(tái)的接地是否良好，以確保靜電能夠有效地通過接地線排放。測(cè)試方法包括使用接地測(cè)試儀器或者萬用表測(cè)試接地電阻。 3. 靜電放電測(cè)試：使用靜電放電測(cè)試儀器，模擬靜電放電過程，測(cè)試工作臺(tái)表面的靜電放電時(shí)間和電荷量是否符合標(biāo)準(zhǔn)要求。通常要求靜電放電時(shí)間在0.5秒以內(nèi)，電荷量在±5nC以內(nèi)。 4. 清潔度測(cè)試：測(cè)試工作臺(tái)表面的清潔度是否符合標(biāo)準(zhǔn)要求，以確保靜電不會(huì)因?yàn)楸砻嫖廴疚锏拇嬖诙a(chǎn)生影響。測(cè)試方法包括使用顯微鏡觀察表面污染物的情況，或者使用粘塵紙測(cè)試表面的粘附物。 以上測(cè)試可以通過專業(yè)的測(cè)試儀器進(jìn)行，也可以通過自行制定的測(cè)試方法進(jìn)行。測(cè)試結(jié)果應(yīng)該記錄并保存，以便日后參考和比對(duì)。
防靜電工作臺(tái)的測(cè)試方式通常包括以下幾個(gè)步驟
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